大功率紫外線燈在半導體行業的應用

在半導體制造行業，大功率紫外線燈用于晶圓表面微粒檢測。晶圓的切割、清洗會對晶圓表面造成污染，而用大功率紫外線燈輻射能夠發現污染點，這對于提高晶圓良品率至關重要。

作為多年來從事紫外線燈研發、設計、制造的深圳紫外線燈品牌TANK007就跟大家伙來聊聊被稱為集合幾乎人類所有理工學科的智慧的半導體行業為何需要使用大功率紫外線燈。

目前應用于半導體行業的大功率紫外燈分為便攜式紫外線燈和固定式紫外線燈。

其中，便攜式大功率紫外線燈如大功率紫外線手電筒可用于便攜式操作，常見的如檢查設備表面塵埃。

而固定式大功率紫外線燈可檢查晶圓表面質量和微粒檢查。例如臺積電、中芯國際和上海微電子等半導體企業都有涉及到大功率紫外線燈。

大功率紫外線燈用于檢查半導體潔凈室

1、半導體潔凈室內部為了保持干凈，通常潔凈室內氣壓高于標準大氣壓才能確保粉塵只出不進。

另外通過安裝大型鼓風機，把過濾的清潔空氣輸入到潔凈室中，為了保證溫濕度空調系統也是必須的安裝的。至于日常檢查是否有塵埃落入可借助大功率紫外線燈來檢查。

3、為了最大程度減少塵埃在潔凈室滯留，潔凈室所有氣流方向均由上往下為主。

4、進入潔凈室內的物料盡量選用不易產生靜電的材料，以減少對灰塵的吸附。

5、進出潔凈室內的工作人員，嚴格按照空氣吹浴 (air shower) 程序，除去自身表面粉塵。

6、為確保人體及衣物的毛屑，進出潔凈室/無塵室的工作人員需穿戴無塵衣，杜絕與外界隔絕接觸 

總之，晶圓的制造環境潔凈度將直接影響著晶圓的良品率，晶圓制造企業必須要有配套無塵生產環境才能確保晶圓的質量。

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